Плазменные покрытия (свойства и применение): учебное пособие
Кривобоков В.П., Сочугов Н.С., Соловьев А.А.
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.;Гриф:Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета
Anno:
2008
Casa editrice:
Томский политехнический университет
Lingua:
russian
Pagine:
136
File:
PDF, 2.02 MB
IPFS:
,
russian, 2008
Litres
Vuole aggiungere una libreria? Contattaci su support@z-lib.fm
Converti i file
Più risultati di ricerca
Altri vantaggi 
